172nm > 회사소개

ABOUT USCygnus Photonics는 2018년에 설립된 독립 기술 기업으로, 전자·광전자·생물의학 장치 및 시스템 제조업체는 물론 연구 및 교육 커뮤니티를 위해 정밀 UV 및 VUV 포토리소그래피 시스템과 노광 도구를 제공하는 데 전념하고 있습니다.

우리는 지난 10여 년간 개발된 고효율 평탄형 deep-UV 및 VUV 램프를 기반으로 혁신적인 솔루션을 제공합니다. 이러한 발전 덕분에 Cygnus의 시스템은 기존 UV 노광 장비에 비해 총 소유 비용(TCO)을 크게 절감하면서도, 포토리소그래피 성능의 새로운 수준을 가능하게 합니다. 특히 172 nm 파장의 포토리소그래피도 별도의 진공 환경 없이 운용할 수 있어 뛰어난 경제성과 유연성을 자랑합니다.

또한 Cygnus의 초박형 VUV 램프는 과거 제품보다 효율적이고 강력하며, 최대 1 m² 크기의 표면에 균일한 노광을 구현하기 위해 타일링(tiling) 구성이 가능합니다. 이를 통해 산업 및 학술 연구 현장에서 필요한 다양한 스케일의 공정을 지원합니다.

Cygnus는 최대 8인치(200 mm) 직경의 웨이퍼를 처리할 수 있는 모듈형 노광 도구를 제공하며, 현재 300 mm 웨이퍼 공정 시스템도 개발 중입니다. 한편 π-Photon과 같은 소형 장비는 산업 연구 그룹과 대학 실험실을 위한 합리적인 비용의 컴팩트 솔루션으로 설계되었습니다.

지난 수십 년 동안 포토리소그래피 시스템의 가격은 급격히 상승해왔으며, 그 결과 최첨단 기술에 대한 접근이 제한되었습니다. Cygnus Photonics의 사명은 합리적인 가격대의 고성능 VUV/UV 노광 및 패터닝 장비를 제공하여, 전 세계 연구자와 교육자들이 새로운 과학적·산업적 성과를 창출하도록 돕는 것입니다.

오늘날 Cygnus Photonics의 제품은 유럽, 아시아, 미국 전역의 제조 및 테스트 시설, 산업 연구소, 대학 연구실에서 널리 활용되고 있으며, 글로벌 혁신을 뒷받침하는 핵심 파트너로 자리잡고 있습니다.

회사소개서